真空氣相沉積設備是一種用於電子產(chǎn)品防水保護的鍍膜設備。工作時把含有構(gòu)成薄膜元素的化合物（長鏈性高分子材料，一般為派瑞林Parylene）、單質(zhì)氣體經(jīng)過昇華、熱解後進入放置產(chǎn)品的真空反應室，借助空間氣相化學反應, 在產(chǎn)品表面上沉積生成0.1-100um的厚度均勻，無應力、優(yōu)異的電絕緣性和防護性、防潮、防黴、防腐、防鹽霧塗層材料薄膜塗層

真空氣相沉積設備是一種用於電子產(chǎn)品防水保護的鍍膜設備。工作時把含有構(gòu)成薄膜元素的化合物（長鏈性高分子材料，一般為派瑞林Parylene）、單質(zhì)氣體經(jīng)過昇華、熱解後進入放置產(chǎn)品的真空反應室，借助空間氣相化學反應, 在產(chǎn)品表面上沉積生成0.1-100um的厚度均勻，無應力、優(yōu)異的電絕緣性和防護性、防潮、防黴、防腐、防鹽霧塗層材料薄膜塗層